一、定义
PVD蒸发舟是一种在热蒸发工艺中用作坩埚和加热器的消耗性电阻加热元件,其设计功能是在通以高电流时,通过焦耳热直接盛放并汽化金属或合金源材料。它由高温、低蒸气压的难熔材料(如钨、钼、钽或其合金)制成,必须具有优良的导电性、在工作温度下的高机械强度以抵抗变形,以及与镀料材料的化学惰性以防止不良反应。其几何形状——通常为浅而长的槽型——旨在最大化与源材料的接触表面积,促进电流均匀分布以实现均衡加热,并对发射的蒸气云提供一定程度的定向控制。蒸发舟的主要操作功能是以可控速率实现源材料从固相到气相快速而稳定的转变,这直接决定了薄膜的沉积速率和厚度均匀性。通过电流控制实现的精确热管理对于防止喷溅、最小化合金分解或分馏、并通过减轻过度热应力和晶粒生长来延长蒸发舟使用寿命至关重要。其性能根本上与实现稳定的熔池、维持熔融源材料与舟体表面之间一致的润湿性,以及确保极低的放气或污染(以免损害薄膜纯度)相关联。作为电源与蒸气流生成之间的关键界面,蒸发舟的设计和材料特性直接影响工艺的可重复性、材料利用效率以及沉积薄膜在附着力、电阻率和微观结构方面的最终质量。。
分类角度:
按 形态 分:平直型、阶梯型、防溅型
按 材质 分:钨蒸发源、钼蒸发源、钽蒸发源 和 其他
二、全球市场格局与规模判断
2025年,全球PVD蒸发舟销量约达1,752 万件,市场规模约368百万美元,2025年,全球PVD蒸发舟市场规模3.68亿美元,单价21美元/件,销量1,752 万件,年复合增长率(CAGR)为5.3%(2025-2031),整体仍处于稳步增长阶段,平均单线年产能约20万件,行业利润率27%。从格局上看,市场正在形成"材料技术驱动、应用生态协同"的结构特征,欧洲与北美延续以真空镀膜、功能薄膜、显示与光学器件产业为核心的成熟需求结构,亚洲区域凭借电子制造与装备集群呈现迭代升级态势。品牌方与器件制造商对稳定性、良率与可追溯性的关注,使得具备材料工程能力与工艺验证经验的企业更易进入核心供应体系,同时跨区域客户项目推动产品向更高温、高纯与更长寿命方向演进。
三、市场参与者
市场参与者覆盖真空材料制造商、蒸镀设备与工艺服务商以及功能薄膜与电子组件制造企业,上游侧重难熔金属与陶瓷材料加工、粉末冶金及真空烧结能力,形成材料可靠性与产品一致性的基础;下游则集中于蒸镀工艺与薄膜沉积相关行业,包括电子元器件、光学与显示器件、金属化涂层及功能涂层制造等领域,终端客户普遍强调过程稳定、设备兼容与供应连续性。在代表性企业层面,3M、Plansee、Kennametal(Sintec Group)、Neyco、RD Mathis、Kurt J. Lesker、Supervac I.............
原文转载:https://fashion.shaoqun.com/a/2631106.html
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